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美國ZETA光學(xué)輪廓儀

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三維光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品型號：zeta-20
更新時(shí)間：2025-07-24

簡要描述：zeta 三維光學(xué)輪廓儀：的三維成像和測量，多功能光學(xué)測試模組，多樣化的測試平臺（手動、自動測試臺）Z*的3D成像及測試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備，是表面量測領(lǐng)域的Z佳選擇）。

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產(chǎn)品詳情

型號：Zeta-20

產(chǎn)品：三維光學(xué)輪廓儀

品牌：Zeta澤塔

簡介：zui*的3D成像及測試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備，是表面量測領(lǐng)域的*選擇）

三維光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)

◆ 功能齊全，操作簡易，用途廣泛的Zeta-20

ZDotTM技術(shù)擅于對高粗糙度、低反射率的表面進(jìn)行成像分析

·具有防反射涂層的太陽能電池片
·圖形化/蝕刻的LED基板
·生物微機(jī)電、微機(jī)電系統(tǒng)和微流體槽
·透明的多表面樣品成像

快速獲取數(shù)據(jù)

·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度
·簡明易學(xué)的軟件操作界面

強(qiáng)大的三維分析功能

·臺階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性
·數(shù)據(jù)輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容

◆ 高度的靈活性

測量復(fù)雜的表面特征

從深槽到金剛石鋼線，Zeta-20強(qiáng)大的成像能力可對各種復(fù)雜表面進(jìn)行測量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設(shè)備測量。

選項(xiàng)配置齊全

在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預(yù)測。因此，Zeta-20使用模塊化設(shè)計(jì)理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項(xiàng)來滿足各種不同的測量需求。
·薄膜厚度光譜儀
·可測量納米級粗糙度的QDIC/Nomarski選項(xiàng)
·iX5干涉物鏡
·Z軸分辨率高達(dá)2nm的壓電陶瓷載臺
·傾斜載臺和真空吸附卡具
·自動特征提取和測量軟件
·自動表面面積測量、統(tǒng)計(jì)分析 ...以及其它眾多選項(xiàng)！

◆ 特定行業(yè)的測量應(yīng)用

太陽能電池片表面分析：

·自動測量柵線的高度、寬度和體積
·單晶硅和多晶硅表面面積和絨面分析
·氮化硅防反射層薄膜厚度測量
·多點(diǎn)、自動?xùn)啪€測量
·156mm太陽能電池片真空吸附載臺

LED 和圖形化藍(lán)寶石基板(PSS)分析

·自動測量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蝕刻后PSS特征
·自動定位和測量外延后Mesa的粗糙度
·適用于2"、4"和6"晶圓的真空載臺

微流體和微機(jī)電的測量分析

·透明的多層表面輪廓測量
·深槽、深井以及其它高縱深比的特征點(diǎn)測量
·靈活的、可自定義的橫截面及測量點(diǎn)的設(shè)置

簡便、易用的測量方法

·自動載物臺支持多點(diǎn)測量序列和三維圖像拼接
·自動坡度和波度補(bǔ)償
·自動將待測表面調(diào)成水平
·自動測量高度、尺寸、角度、面積和體積
·自動測量線粗糙度和面粗糙度

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